基于光谱共焦的在线集成表面粗糙度测量方法

摘要：

为了提高加工检测效率,实现尺寸形位公差与微观轮廓的同平台测量,提出一种基于光谱共焦位移传感器在现场坐标测量平台上集成表面粗糙度测量的方法.搭建实验测量系统且在LabVIEW平台上开发系统的硬件通讯控制模块,并配套了高斯轮廓滤波处理及表面粗糙度的评价环境,建立了非接触的表面粗糙度测量能力.对标准台阶、表面粗糙度标准样块和曲面轮廓样品进行了测量,实验结果表明:该测量系统具有较高的测量精度和重复性,粗糙度参数Ra的测量重复性为0.002 6 μm,在优化零件检测流程和提高整体检测效率等方面具有一定的应用前景.

关键词：计量学、表面粗糙度、光谱共焦、测量控制、在线集成、轮廓滤波器

所属期刊栏目：42

分类号：TB92(计量学)

资助基金：中国工程物理研究院材料研究所特聘人才基金TP03201706

在线出版日期：2021-07-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：753-758