压头曲率半径对硬质薄膜结合力划痕测量影响的比较研究

摘要：

硬质薄膜的膜/基结合力是表征材料可靠性的重要特性参数.采用划痕法测试硬质薄膜的结合力时,有很多因素会影响到临界载荷Lc的判定,例如薄膜和基底的硬度、模量,薄膜的表面粗糙度等;此外,仪器机架刚度、划痕速率、压头的曲率半径等仪器的测量参数也会影响临界载荷Lc的判定.采用划痕测量法,研究了曲率半径为20μm,50 μm和100 μm的压头对单晶硅和304基底的亚微米类金刚石薄膜与基底的结合力测量的影响.研究结果显示:随着压头曲率半径的增加,2种材料的临界载荷也随之增大.

关键词：计量学、压头曲率半径、类金刚石薄膜、膜/基结合力、划痕法

所属期刊栏目：41

分类号：TB93(计量学)

资助基金：国家重点研发计划2016YFF0204305

在线出版日期：2020-10-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1089-1094