AFM轻敲模式下扫描参数对成像质量影响的研究

摘要：

针对原子力显微镜(AFM)扫描参数对成像质量的影响规律,对现有的扫描参数影响成像质量的研究进行了分析.提出了以幅值误差作为评价AFM成像质量的指标,通过实验研究了扫描参数对AFM成像质量的耦合影响.发现了扫描频率fs、积分增益I和幅值设定点S这3个扫描参数间相互影响的现象,在S低较低情况下可设置更大的fs和I,在获取高质量成像的同时,提升了测量效率,对扫描参数的合理设置提供了可靠的操作准则.

关键词：计量学、原子力显微镜、扫描参数、成像质量、轻敲模式、幅值误差

所属期刊栏目：41

分类号：TB92(计量学)

资助基金：河北省自然科学基金;河北省高等学校自然科学研究青年基金;中央高校基本科研业务费专项资金;燕山大学青年教师自主研究计划

在线出版日期：2020-08-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：789-795