毫米级纳米几何特征尺寸计量标准装置多自由度激光干涉计量系统

摘要：

准确的纳米几何结构测量是提高集成电路、微纳机电系统和微纳技术产品的质量和性能的关键技术支撑,为了得到准确一致的测量结果,必须实现纳米尺度的量值溯源并建立量值的传递体系.为满足纳米几何结构计量从纳米尺度到毫米尺度的跨尺度计量需求,实验室研制了毫米级纳米几何特征尺寸计量标准装置,集成于该装置中的多自由度激光干涉计量系统,实现了测量结果向米定义SI单位的直接溯源.实验结果表明该系统能够在毫米级的测量范围内,实现纳米级的测量准确度,分辨力达到了亚纳米量级.

关键词：计量学、纳米几何特征尺寸、多自由度激光干涉系统、激光干涉仪修正、计量标准装置

所属期刊栏目：41

分类号：TB921(计量学)

资助基金：国家重点研发计划;中国计量科学研究院基本科研业务费项目

在线出版日期：2020-08-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：769-774