10.3969/j.issn.1000-1158.2020.06.08
一种单频激光干涉仪非线性误差修正方法研究
针对单频激光干涉仪在位移测量中存在的非线性误差问题,研究了一种基于几何距离最小化的Heydemann修正算法,使用Jamin干涉仪和纳米位移台搭建了验证性实验.Jamin干涉仪是一种基于平面镜的差分结构单频干涉仪,当被测物体移动时,干涉仪输出两路相位差为90°的正交信号,这两路信号既用于Jamin干涉仪解算位移也用于验证论文的修正算法.实验结果表明,修正后的位移的拟合优度与Jamin干涉仪解算结果接近,决定系数约为1.相比Jamin干涉仪,在压电陶瓷同等驱动条件下,修正位移与电容传感器的位移的残差均较小,修正精度均高于Jamin干涉仪解算结果.
计量学、差分平面镜干涉仪、Heydemann修正、非线性误差
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TB921(计量学)
国家自然科学基金;上海市自然科学基金
2020-06-22(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共6页
676-681