音叉式AFM探针针尖与表面接近特性的研究

摘要：

基于音叉式探针的特性,建立了探针针尖与样品表面接近过程中的动力学方程,并利用Simulink软件模拟了该过程中探针悬臂振幅响应情况.搭建了基于音叉探针的接近曲线检测装置,使用位移系统控制程序和锁相放大器数据采集程序,在调幅模式下获得探针在不同激励电压下的接近曲线,在调幅模式下获得探针在不同激励电压下的接近曲线,探针在25,50,75,100 mV的激励下,工作距离分别为4.12,5.1,5.95,7.6 nm,结果与仿真相符.

关键词：计量学、原子力显微镜、接近曲线、Simulink、音叉探针

所属期刊栏目：41

分类号：TB92(计量学)

资助基金：国家重点研发计划;国家重点研发专项

在线出版日期：2020-06-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：524-528