一种薄膜材料电阻率测试用环形电极设计

摘要：

针对航天器用高电阻率薄膜材料的电阻率测试问题进行了研究.通过对现有高阻值电阻率测试环形电极设计方法进行仿真理论分析,结合数学模型推导,提出了一种环形电极有效测试宽度及尺寸设计取值方法,并制成薄膜材料测试用环形电极装置.通过实验实现了航天器用薄膜材料表面电阻率和体电阻率测量,相对示值误差可控制在9％范围内;该装置可应用于体积电阻率在105 ～1018Ω·cm的航天器用复合材料电阻率的测试.

关键词：计量学、电阻率测试、薄膜材料、环形电极

所属期刊栏目：41

分类号：TB971(计量学)

在线出版日期：2020-05-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：349-353