液晶玻璃面板光学检测仪器气浮平台系统参数优化设计

摘要：

液晶玻璃平板在线检测流程当中,气膜的流场压力和速度的分布需要较高的稳定性,为了比较不同的气浮平台供气方式对气膜稳定性的影响,结合气体润滑理论,分析得出气膜稳定后的压力分布情况.通孔在气浮板上通常采用阵列排布,使用Gambit对气浮平台三维模型进行网格的划分,再将其导入软件Fluent中,对正压供气方式和正负压供气方式进行仿真计算,分析得到2种不同供气模式下气浮力的分布以及速度分布.由以上分析可得,若气浮系统中其余变量保持不变,正负压同时供气方式优势更加明显,气膜稳定后气浮力和速度分布平缓,所需气体的质量流量较正压供气方式更少.以正负压同时供气方式自制玻璃基板光学缺陷检测样机,实验结果表明气膜间隙变化量小于1 μm.

关键词：计量学、液晶玻璃面板、气浮支承、供气方式、Fluent仿真

所属期刊栏目：40

分类号：TB96(计量学)

资助基金：国家重大科学仪器设备开发专项2013YQ220749

在线出版日期：2019-12-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：994-999