主轴回转误差分析仪校准方法

摘要：

针对超精密机床主轴回转误差分析仪校准难的问题,分析了主轴回转误差分析仪的系统组成及测量原理,提出了一种基于示值误差、线性度、重复性等主要计量特性的校准方法;搭建了一种专用的校准装置,该装置采用纳米微动台进行位移驱动,采用高精度激光干涉仪作为计量标准,测量线符合阿贝原则,能够在普通实验环境条件下实现:位移范围±1 mm内最佳测量能力优于10 nm,10 min内示值稳定性优于2 nm;进行了主轴回转误差分析仪校准试验,给出了不确定度评定方法.该校准方法及装置能够满足主轴回转误差分析仪以及各种纳米级位移传感器及仪器的溯源需要.

关键词：计量学、回转误差、校准装置、校准方法、不确定度评定

所属期刊栏目：39

分类号：TB921(计量学)

资助基金：国家自然科学基金51675497;北京市自然科学基金3162034;国家重点研发计划专项2017YFF0206305;重点领域基本科研业务费项目AKYZD1804-1;河南省高等学校重点科研项目15A480004,16A413006

在线出版日期：2019-05-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：16-21