高精度微孔测量探头
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10.3969/j.issn.1000-1158.2018.05.02

高精度微孔测量探头

引用
对高精度探头的研究和发展进行了叙述,介绍了所研制的一款由一个二维角度传感器、一个弹性机构和一个自制的微球形钨探针组成的微孔测量探头.对探头的刚度和重复性分别进行了仿真验证和实验测试,结果表明:该探头在三维方向上的刚度均小于0.4 mN/μm,重复性均优于20 nm(k =2).最后利用该探头对一个直径为420 μm的微孔进行了实际测量,测量结果验证了该探头的实用性.

计量学、探头、微孔、刚度、重复性

39

TB92(计量学)

国家自然科学基金51675157

2018-10-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共7页

598-604

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计量学报

1000-1158

11-1864/TB

39

2018,39(5)

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