10.3969/j.issn.1000-1158.2017.03.01
新型移相量块干涉仪的研制
研制了一台用于0.5 ~100 mm量块测量的新型移相量块干涉仪,分别以波长为633 nm和543 nm的两台稳频激光器作为测量光源,通过一根单模光纤引入到干涉仪内.高精密移相器实现5步移相干涉测量,CCD.相机采集干涉条纹并计算干涉条纹小数,被测量块长度采用多波长的小数重合法计算.移相量块干涉仪的测量不确定度达到U=0.015 μm +0.07 × 10-6L(L为量块长度,mm).
计量学、量块测量、移相干涉仪、相位解包裹、小数重合法
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TB921(计量学)
中国计量科学研究院基本科研业务费AKY1329,AKY1617
2017-07-06(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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