采用HRTEM对石墨烯材料单层厚度测量的研究

摘要：

将石墨烯材料薄膜制成可以通过高分辨透射电子显微镜(HRTEM) 观察的横截面样,在室温20 ℃,变换放大倍数,通过HRTEM自带的测量软件得到的单次测量值为0.411 nm,同时可以看到石墨烯材料形貌较清晰,其剖面结构并不是理想的笔直直线.通过局部剪切图和增大间隙图,提取石墨烯材料单层的边缘数据.通过直方图法获得其单层厚度的测量值,厚度均值为0.390 nm,厚度重复性测量不确定度为0.042 nm.在置信水平为95％的条件下,计算得到石墨烯材料的单层厚度为(0.390±0.086) nm.相对石墨烯厚度的公称值,石墨烯材料的单层厚度偏大,分析认为石墨烯材料层与层之间紧密连接度不够,造成单层厚度与石墨烯厚度存在差异.

关键词：计量学、石墨烯材料、单层厚度、纳米级高度、高分辨透射电子显微镜、不确定度

所属期刊栏目：38

分类号：TB921(计量学)

资助基金：国家自然科学基金51505368,91323303;111引智计划B12016;精密测试技术及仪器国家重点实验室开放基金PIL1403

在线出版日期：2017-05-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：145-148