Mirau干涉型微纳台阶高度测量系统的研究

摘要：

为了实现纳米量级到微米量级的微观三维台阶样板高度的快速测量,在普通光学显微镜的基础上改造完成了一台微纳台阶高度测量装置,设计了整体硬件结构,编写了测量控制软件和数据处理软件,并结合Hilbert变换和小波变换实现三维表面形貌测量.使用不同高度的台阶样品进行测试,测试结果表明:系统测量准确度较高,测量重复性较好,垂直测量范围大于50 μm.

关键词：计量学、Mirau干涉、微纳台阶高度测量、三维表面形貌测量、白光显微干涉、光学显微镜

所属期刊栏目：38

分类号：TB92(计量学)

资助基金：国家重点研发计划2016YFF0200602;中国计量科学研究院基本科研业务费AKY1605

在线出版日期：2017-05-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：141-144