用于音叉式原子力显微镜的探针制备

摘要：

建立了一种电化学腐蚀法钨探针制备系统,通过对电化学腐蚀过程中微弱电流信号的实时检测,实现对腐蚀电路快速通断的自动控制,断电时间0.3 ms.该系统制备出了具有与理想轮廓一致的指数形探针.分析了电解电压、电解液浓度与腐蚀电流的关系,得出腐蚀最佳参数.将石英音叉与钨探针粘接构成原子力显微镜测头,完成了调幅模式下的力曲线测试.实验结果表明:制作的钨探针满足原子力显微镜测头性能要求,音叉信号稳定,能识别10 nm的运动变化,为研制高性能音又式原子力显微镜提供了实验技术基础.

关键词：计量学、原子力显微镜、钨探针、石英音叉、电化学腐蚀

所属期刊栏目：38

分类号：TB92(计量学)

在线出版日期：2017-03-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：43-46