微机电系统热式流量传感器计量原理的数值研究

摘要：

采用计算流体力学仿真手段,根据MEMS热式流量传感器的计量原理进行机理建模,对不同流速下微机电系统传感器表面的温度场分布进行数值模拟与分析,考察了传感器温差输出信号与标准流速之间的关系,所得结论与理论相符.同时,通过与实验数据比较,验证了仿真模型的正确性.此外,通过分析热式流量传感器在不同温度和压力下的热场特性,发现其存在一定的温度和压力效应.当工作温度、压力波动较大或严重偏离标定状态时将带来较大的测量误差.

关键词：计量学、热式流量传感器、微机电系统、热场特性、计算流体力学

所属期刊栏目：37

分类号：TB937(计量学)

资助基金：国家国际科技合作专项2011DFB61500;国家“973”计划2014CB249203;国家“863”计划2012AA040605;河北省省级科技支撑计划项目12213501Z

在线出版日期：2017-01-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：623-627