10.3969/j.issn.1000-1158.2016.05.07
平面光学元件平面度动态干涉拼接测量
开展了基于动态干涉仪的平面光学元件平面度干涉拼接测量,并研究了影响测量和拼接的主要误差。用二级减振的方法来抑制环境中振动的影响;根据允许的变化条纹数来控制二维移动平台导轨精度。建立了以ZYGO公司的DynaFiz干涉仪为子口径采集仪器的干涉拼接系统,开展了单口径平面度测量及拼接实验,完成了200 mm ×300 mm 平面光学元件的平面度测试,并与大口径干涉仪所测试的全口径测量数据进行比对,拼接结果的10次实验均方差为0.001λ(λ=632.8nm)。
计量学、拼接测量、平面度、动态干涉仪、平面光学元件
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TB96(计量学)
国家自然科学基金51175318;国家重大科技专项2013ZX04006011-217
2016-11-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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