平面光学元件平面度动态干涉拼接测量

摘要：

开展了基于动态干涉仪的平面光学元件平面度干涉拼接测量，并研究了影响测量和拼接的主要误差。用二级减振的方法来抑制环境中振动的影响；根据允许的变化条纹数来控制二维移动平台导轨精度。建立了以ZYGO公司的DynaFiz干涉仪为子口径采集仪器的干涉拼接系统，开展了单口径平面度测量及拼接实验，完成了200 mm ×300 mm 平面光学元件的平面度测试，并与大口径干涉仪所测试的全口径测量数据进行比对，拼接结果的10次实验均方差为0.001λ（λ=632.8nm）。

关键词：计量学、拼接测量、平面度、动态干涉仪、平面光学元件

所属期刊栏目：37

分类号：TB96(计量学)

资助基金：国家自然科学基金51175318；国家重大科技专项2013ZX04006011-217

在线出版日期：2016-11-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：484-488