10.3969/j.issn.1000-1158.2016.05.01
计量型扫描电子显微镜测控系统研究
为了解决扫描电子显微镜( SEM)在100 nm以下的微纳几何结构尺寸精确测量方面的不足,实现SEM测量值的量值传递与溯源,研制了一套计量型SEM测控系统。该系统主要由位移台运动控制模块、激光干涉位移测量模块和图像采集与处理模块组成,基于LabVIEW图形编程语言开发了测控系统上位机软件。对1μm ×1μm二维栅格样品进行尺寸测量实验,结果表明,该计量型SEM测控系统运行稳定可靠,且在10μm测量范围内的测量值示值误差优于10 nm。
计量学、计量型扫描电子显微镜、量值溯源、运动控制模块、激光外差干涉、图像采集与处理、LabVIEW
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TB92(计量学)
国家科技支撑项目2011BAK15B02
2016-11-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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