计量型扫描电子显微镜测控系统研究

摘要：

为了解决扫描电子显微镜（ SEM）在100 nm以下的微纳几何结构尺寸精确测量方面的不足，实现SEM测量值的量值传递与溯源，研制了一套计量型SEM测控系统。该系统主要由位移台运动控制模块、激光干涉位移测量模块和图像采集与处理模块组成，基于LabVIEW图形编程语言开发了测控系统上位机软件。对1μm ×1μm二维栅格样品进行尺寸测量实验，结果表明，该计量型SEM测控系统运行稳定可靠，且在10μm测量范围内的测量值示值误差优于10 nm。

关键词：计量学、计量型扫描电子显微镜、量值溯源、运动控制模块、激光外差干涉、图像采集与处理、LabVIEW

所属期刊栏目：37

分类号：TB92(计量学)

资助基金：国家科技支撑项目2011BAK15B02

在线出版日期：2016-11-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：457-461