接触触发式探头结构优化设计

摘要：

设计了一种适用于微纳米三坐标测量机的高灵敏度接触触发式探头。介绍了该探头的结构和原理，建立了探头的灵敏度模型和刚度模型，依据三维方向等灵敏度和等刚度的原则，利用最优化方法得出了探头结构参数的最优解。对探头的刚度进行了仿真验证；分别对探头的刚度、分辨率以及稳定性进行了实验测试。实验结果表明：该探头在三维方向上的刚度均小于1 mN/μm，且近似相等；分辨率高于50 nm；当环境温度的波动范围小于±0.025℃时，探头在1.3 h 内的漂移量为20 nm。

关键词：计量学、三坐标测量机、接触触发式探头、弹性机构、参数优化

所属期刊栏目：37

分类号：TB92(计量学)

资助基金：国家自然科学基金51275148，51175141；安徽省高等学校省级自然科学研究重点项目KJ2014A021

在线出版日期：2016-07-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：230-234