基于 qPlus 技术的 AFM 测头研究

摘要：

初步设计并组装了基于 qPlus 技术的原子力显微镜（AFM）测头。使用石英音叉型力传感器替代了硅悬臂传感器，并设计了前置放大电路，研究了测头的频率特性，利用搭建的实验装置对测头的性能进行了测试。测试结果表明：该测头在频率调制（FM）模式下具有较高灵敏度。同时测头频率特性的研究显示探针及其粘接部位的质量是影响测头谐振频率的最主要因素。为 qPlus-AFM 测头的设计、组装及后续研究提供了经验和基础。

关键词：计量学、qPlus技术、原子力显微镜、石英音叉、频率调制模式

所属期刊栏目：37

分类号：TB92(计量学)

资助基金：国家科技支撑计划2011BAK15B01、2011BAK15B02

在线出版日期：2016-05-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：113-117