基于DMD的并行共焦图像处理方法研究

摘要：

在并行共焦测量中，用于构造点光源阵列的光分束器件普遍存在参数固化、对不同测量对象适应性较差的缺点。将数字微镜器件（ DMD）作为光分束器件应用于并行共焦测量，可以控制DMD构造柔性化点光源阵列，应对不同的测量场合。推导了DMD的空间光调制模型，规避了“泰伯效应”对并行共焦测量的影响，设计了可抑制光点横向漂移的远心光路，构建了基于DMD的并行共焦测量装置，对比了两种不同的并行共焦图像处理方法。实验结果表明，在没有设置高数值孔径物镜组的情况下，测量装置的纵向分辨率受到一定影响，但所设计的图像处理程序能够快速、准确地获取被测物面的形貌特征。

关键词：计量学、并行共焦测量、图像处理、数字微镜器件、点光源阵列

分类号：TB92(计量学)

资助基金：国家自然科学基金50775063；教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目NCET-10-0116；福建省自然科学基金青年项目2013J05078

在线出版日期：2015-04-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：113-117