石英晶体微天平质量检测量研究

摘要：

基于石英晶体微天平质量检测原理,通过分析石英谐振器表面的振动位移,得出决定其电极表面每一点处质量灵敏度的物理量为该点处的振动加速度.在此基础上,基于石英谐振器的巴特沃斯-范·戴克等效电路模型提出一种计算石英晶体谐振器表面振荡幅度的方法,最终得到石英晶体微天平在整个检测过程中能检测到的平均质量.用10 MHz的石英晶体微天平进行了数值验证,计算值与其理论上能达到的Pg级检测限基本相吻合.

关键词：计量学、质量检测量、振动加速度、石英晶体微天平

所属期刊栏目：36

分类号：TB932(计量学)

资助基金：中央高校基本科研业务费基金ZYGX2012YB030

在线出版日期：2015-04-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：63-66