248 nm紫外显微镜微纳线宽校准方法的研究

摘要：

248 nm波长照明的紫外显微镜能够获得高达80 nm的光学分辨率,可以实现对掩模板的线宽和一维/二维栅格参数的测量.作为测量仪器的248 nm紫外显微镜需要对其进行校准.该显微镜测量范围在nm量级,校准使用400 nm-维栅格标准物质,通过对仪器不确定度和标准物质自身不确定度的评估,得到采集图像每个像素的扩展不确定度为0.178 nm,并给出了实际测量时的不确定度评价公式.

关键词：计量学、248 nm、紫外显微镜、线宽校准、栅格标准物质

所属期刊栏目：36

分类号：TB921(计量学)

资助基金：国家科学支撑计划课题2011BAK15B01,2011BAK15B02

在线出版日期：2015-04-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：6-9