长光栅动静态测量装置

摘要：

以激光干涉测量、高速直线驱动、高速检测等技术为基础,研制了长光栅动静态测量装置.介绍了装置的总体结构,叙述了动静态测量的具体过程,详细阐述了直线驱动、光栅的装夹及调整机构等关键组成部分.该装置可在2 m测量范围内实现长光栅的动态和静态测量,实验结果表明,静态测量的示值误差优于0.3μm/m,动态速度评价达到180 m/min,可较好满足目前的高精度测量需求.

关键词：计量学、长光栅、位移测量、动态测量

所属期刊栏目：35

分类号：TB921(计量学)

资助基金：国家科技重大专项2011ZX04014-071

在线出版日期：2015-08-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：11-13