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10.3969/j.issn.1000-1158.2014.01.07

一种基于DVD读取头的非接触触发探头

引用
提出了一种基于DVD读取头原理的非接触光学聚焦探头,该探头由商用DVD读取头改装而成,已经完成其设计与制作.实验结果表明探头分辨率优于2 nm,测量重复性可达20 nm,目前已应用于纳米三坐标测量机上.

计量学、DVD光学读取头、非接触探头、纳米三坐标测量机

35

TB92(计量学)

国家自然科学基金51275148,50875073

2014-03-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共4页

30-33

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计量学报

1000-1158

11-1864/TB

35

2014,35(1)

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