一种基于DVD读取头的非接触触发探头

摘要：

提出了一种基于DVD读取头原理的非接触光学聚焦探头,该探头由商用DVD读取头改装而成,已经完成其设计与制作.实验结果表明探头分辨率优于2 nm,测量重复性可达20 nm,目前已应用于纳米三坐标测量机上.

关键词：计量学、DVD光学读取头、非接触探头、纳米三坐标测量机

所属期刊栏目：35

分类号：TB92(计量学)

资助基金：国家自然科学基金51275148,50875073

在线出版日期：2014-03-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：30-33