傅里叶变换轮廓术测量方法的分析研究

摘要：

对传统傅里叶变换轮廓术(FTP)、π相移法以及灰度图法测量结果进行对比分析.结果证明,随着被测物体高度梯度的增加,基于灰度图和π相移技术的改进傅里叶变换轮廓术取得了很好效果,特别是在梯度大于3的情况下适合采用π相移法,能更有效地提高傅里叶变换轮廓术的测量精度.

关键词：计量学、傅里叶变换轮廓术、灰度图法、π相移方法、频谱混叠

所属期刊栏目：34

分类号：TB96(计量学)

资助基金：衢州市科技计划项目20121055

在线出版日期：2013-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：207-211