激光二坐标测量装置不确定度模型的研究和建立

摘要：

随着集成电路制造中的光刻工艺日益成熟,利用光刻工艺制造的二维线纹标准器被大量应用于影像测量仪、带视觉测头的坐标机和数字式显微镜的精度校准和评价.为了解决二维线纹标准器的校准和量值溯源问题,研制了高精度激光二坐标测量装置,通过分析该测量装置的测量原理和机械、光学误差的作用机理,建立了二维线纹标准器点坐标的测量误差模型,为了降低二维线纹标准器点坐标的测量不确定度,给出了降低和消除装置几何测量误差的方法和步骤,建立了误差分离后的测量不确定度模型,并进行了不确定度分析和计算.

关键词：计量学、坐标测量、影像测量、激光干涉、测量不确定度、二维线纹标准器

所属期刊栏目：33

分类号：TB921(计量学)

资助基金：国家科技基础条件平台项目2005DKA107022

在线出版日期：2013-11-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1-5