单晶硅球密度的绝对测量

摘要：

单晶硅球密度的绝对测量是阿伏加德罗常数测量的关键技术.综述了单晶硅球密度测量的最新进展,包括硅球密度测量的技术原理、测量领域、影响因素、测量装置及最佳测量能力等等,分析了硅球密度测量的主要难点和关键技术,预测了相关研究的技术前景及发展趋势.

关键词：计量学、硅球密度、相移干涉法、阿伏加德罗常数

所属期刊栏目：33

分类号：TB932(计量学)

在线出版日期：2013-01-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：428-431