大口径精密光学元件质量检测装置

摘要：

针对精密光学元件表面缺陷检测效率低、大口径元件不便于检测问题,设计了一种应用于大型激光装置的大口径光学元件缺陷检测装置.通过强光手电筒、LED灯及高亮度卤素灯3种光源对40 mm×40 mm的K9样片暗场成像对比实验,得知光照强度最大的卤素灯光源检测效果最佳.研究了基于线阵CCD扫描的三维电控平移台的运动机理,确保高精度图像的采集.在此基础上,分析了图像区域定位、二值化处理、缺陷的检测等关键技术,实现了元件的高精度、实时在线检测.

关键词：计量学、精密光学元件、暗场成像、图像处理、激光惯性约束聚变、线阵CCD、三维平移台

所属期刊栏目：33

分类号：TB96(计量学)

资助基金：国家自然科学基金委员会与中国工程物理研究院联合基金资助10976034

在线出版日期：2012-10-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：321-325