压电式高频振动台的研制

摘要：

根据高频振动基准装置的研究现状和应用需求,研究了压电式高频振动台的优化设计方案,并对压电式高频振动台在设计中的几个重要问题:高频台各组成部分的功能及选择、压电叠堆设计参数的优化、接触界面对振动台性能的影响与预应力的选择及影响等进行了分析.研制了新型压电式高频振动台,其工作频率为2 ～ 50 kHz,最大振幅500 nm.给出了新型压电式高频振动台的主要技术指标和比对实验数据.

关键词：计量学、压电式高频振动台、压电叠堆、预应力、压电陶瓷

所属期刊栏目：33

分类号：TB936(计量学)

资助基金：中国计量科学研究院青年基金AKYQ0706

在线出版日期：2012-10-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：299-302