纳米力学测量系统的载荷与位移溯源校准方法研究

摘要：

对纳米力学测量系统在准静态压入模式下的载荷因子、位移因子的量值溯源校准方法进行了研究.通过一组标准砝码产生标准载荷,拟合标准砝码质量和传感器输出电压得到载荷因子；利用激光干涉仪测量压针位移,拟合干涉仪位移值和传感器输出电压得到位移因子.采用标准样品对校准结果进行了试验验证,校准后的纳米力学测量系统在国际比对测量中取得了良好结果.

关键词：计量学、纳米力学测量系统、载荷因子、位移因子、溯源、校准

所属期刊栏目：33

分类号：TB931(计量学)

在线出版日期：2012-10-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：289-293