新型零差激光干涉仪测量误差因素分析

摘要：

介绍了新型零差激光干涉仪的测量原理,实验和理论分析了干涉条纹宽度、激光光强、散斑效应对该激光干涉仪测量误差的影响.结果表明,干涉条纹宽度对振幅测量值影响并不明显,测量误差为0.5％；光强变化引起的振幅测量误差为0.5％,光强较弱会增大测量误差:散斑效应引起的振幅测量误差与透镜参数有关,测量误差为0.4％.该新型零差激光干涉仪可有效降低测振系统对测量环境的要求.

关键词：计量学、振动测量、零差激光干涉仪、误差分析、条纹宽度、散斑

所属期刊栏目：33

分类号：TB936(计量学)

资助基金：国家"十一五"预研资助项目H04010201

在线出版日期：2012-07-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：227-231