并行像散共焦序列图片的物点正焦信息萃取

摘要：

并行像散共焦系统是基于共焦探测原理实现微结构的三维形貌测量.采用微透镜阵列进行光束分割,实现并行探测.引入像散原理减小光学系统中的干扰和波动对探测特性的影响.通过萃取图片序列中各个并行物点探测曲线的“零”点,实现物点正焦位置辨识.阐述了基于序列图片萃取物点探测曲线“零”点过程中涉及的图片序列中并行光场的定位与分割策略、差动光能统计算法的优化与实现、物点探测曲线轴向有效区域裁定及其特性拟合等关键问题.据此开发的软件“微结构探测系统”能够快速可靠地实现全场物点正焦信息萃取,为微结构形貌的精确三维建模及可视化测量奠定了基础.

关键词：计量学、并行共聚焦、微结构测量、像散、序列图片

所属期刊栏目：32

分类号：TB92(计量学)

资助基金：国家自然科学基金项目50775063

在线出版日期：2012-03-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：485-489