电涡流传感器最佳工作区间确定方法研究

摘要：

电涡流传感器因非接触测量、抗干扰力强等优点在生产中得到了广泛地应用,但其精度很难到达几个微米.根据精度分析理论,采用误差修正技术,提出"最小区间数"与"最大区间段"的工作区间优选原则,确定电涡流传感器的最佳工作区间,以提高传感器测量精度.应用该方法对商业电涡流传感器进行了精度标定,结果显示,将原有的电涡流传感器±10μm误差提升至最佳工作区间的±4 μm精度.

关键词：计量学、电涡流传感器、误差修正、最小二乘法

所属期刊栏目：32

分类号：TB92(计量学)

资助基金：国家科技重大专项2009ZX04014-023-02;国家重点实验室开放课题2010006

在线出版日期：2011-08-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：239-243