基于梳齿间距偏差的微加速度计灵敏度模型

摘要：

针对电容式微加速度计梳齿间距偏差所引起的灵敏度变化,基于高维数值积分与概率理论,并结合闭环微加速度计工作原理,导出了其灵敏度模型.当梳齿间距偏差分布在3.7～4.6 μm区间,施加在固定电极上有效电压分别为2.3 V、5.1 V和8.3 V时,其对应的灵敏度将处于120～195、55～85和32～51 mV/gn范围.在相同条件下,对一批体硅玻璃键合结构的微加速度计进行了实验测量,其灵敏度分别落在119.3～179.9、53.8～81.1和33.0～49.8 mV/gn区间.由此可见,该模型与实测值比较接近.模型指出了灵敏度与梳齿间距偏差的相互关系,从而可为微加速度计设计和工艺优化提供参考.

关键词：计量学、微加速度计、灵敏度模型、梳齿间距偏差

所属期刊栏目：32

分类号：TB934(计量学)

资助基金：国家自然科学基金60576007

在线出版日期：2011-08-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：101-105