干涉仪标准面非旋转对称误差的消除

摘要：

提出了一种测量干涉仪参考镜非旋转对称面形误差的方法.测量波面用36项Zernike多项式来表示,利用Zernike多项式形式的旋转不变性,求解出参考面非旋转对称误差的Zernike多项式系数.测得了Zygo干涉仪参考镜不同装夹应力下的非旋转对称面形误差分布.比对了该方法和N次相对旋转测量法对同一参考面的测量结果,符合较好.分析了测量误差.该方法仅需两次测量,可有效消除干涉仪标准面低频非旋转对称面形误差.

关键词：计量学、非旋转对称误差、Zernike多项式拟合、旋转不变性、绝对检验

所属期刊栏目：31

分类号：TB96(计量学)

资助基金：江苏省六大人才高峰项目06-E-030;教育部博士点基金20070288010

在线出版日期：2010-07-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：219-222