基于ASIC芯片的微小电容测量电路研究

摘要：

基于一款专用集成电路芯片(ASIC)HT133实现了一种微小电容测量电路.该电路具有高分辨率、高抗干扰性、偏置调节能力和模拟、数字信号两种输出模式等特点.文中详细论述了测量电路的实现以及电路的抗干扰措施,并通过测定一组微小电容验证了电路的性能.实验表明,电路分辨率达0.5 fF,非线性度8.67%.该电路在各种电容式传感器特别是微机电系统(MEMS)传感器中有广泛的应用前景.

关键词：计量学、微小电容、电容式传感器

所属期刊栏目：28

分类号：TB971(计量学)

资助基金：国家自然科学基金50505038;西北工业大学校科研和教改项目M450202

在线出版日期：2007-12-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：379-382