显微栅线投影相关法及其在三维形貌测试中的应用

摘要：

基于数字图像相关法解调被物体高度调制的投影栅线平移量的原理,提出了显微栅线投影相关法的概念.该方法是栅线投影法和数字图像相关方法相结合的产物,用于测量微结构的三维形貌和离面变形.系统阐述了该方法的测量原理和详细的标定过程,研究了该方法在微薄膜挠度测量中的应用.测量结果表明,显微栅线投影相关法简单易行,测试结果可靠,配合高速图像采集系统,可用于微结构的动态测试,从而为实现微结构动、静态测试展现了新的应用前景.

关键词：计量学、显微栅线投影相关法、三维形貌、薄膜挠度

所属期刊栏目：28

分类号：TB92(计量学)

资助基金：国家自然科学基金10472026

在线出版日期：2007-03-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：10-13,51