基于椭圆光斑的离轴微位移计量

摘要：

提出一种基于离轴法并采用椭圆光斑的光学微位移计量手段.模拟分析给出了椭圆光斑在线性度、灵敏度和动态范围等方面对探测性能带来的影响.基于这一微位移计量原理,在激光直写设备上制作了具有实用价值的圆光栅,这也表明半导体激光器可以取代传统的氦氖激光器并无需光斑整形.

关键词：计量学、椭圆光斑、离轴法、微位移、调焦

所属期刊栏目：26

分类号：TB92(计量学)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划

在线出版日期：2005-05-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：135-137