光针轮廓仪伺服机构设计与聚焦误差信号的改进

摘要：

应用线切割方法设计了光针轮廓仪伺服机构-音圈电机的结构,使其具有更好的静动态特性和焦点自动跟踪能力.通过改善传统的聚焦误差信号曲线,并利用数字伺服控制方法,在提高系统测量精度的同时,克服了传统对于陡坑或阶梯测量容易脱焦的问题.

关键词：计量学、光针轮廓仪、线切割方法、聚焦误差信号、阶梯测量

所属期刊栏目：26

分类号：TB92(计量学)

资助基金：国家自然科学基金50175037;高等学校博士学科点专项科研项目20020487039

在线出版日期：2005-03-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：8-11