纳米级大尺度超精密线位移测量方法的研究

摘要：

在研究纳米级超精密机床的检测过程中,针对机床的加工要求,提出了纳米级大尺度超精密线位移误差的检测采用宏微线位移测量方法,并应用于超精密机床的检测.检测结果表明,该方法可以利用现有精密测量仪器满足检测超精密机床的要求.

关键词：计量学、纳米级、超精密、大尺度、宏微线位移检测

所属期刊栏目：25

分类号：TB92(计量学)

在线出版日期：2004-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：215-218