应用于高热流冷却的微通道实验装置的研究

摘要：

本文详细介绍了微通道热沉实验装置的发展状态.建成了一个具有多功能、低不确定度、高精度温度控制的实验装置,用于模拟微通道热沉的实际热流状态和分析其热传导特性.最终测试实验借助于HP5529A动态校准仪在恒温室中完成.测试结果表明,这个装置不仅有高的冷却效果,而且能满足微电子机械和纳米技术所需要的高精度温度的要求.

关键词：实验装置、微通道、惠普5529A动态校准仪、微电子机械系统

所属期刊栏目：23

分类号：TH821

在线出版日期：2004-02-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：186-190