无阿贝误差计量型原子力显微镜

摘要：

中国计量科学研究院与德国联邦物理技术研究院、德国伊尔门脑技术大学和耶那蔡司厂合作,于1997年研制成功计量型原子力显微镜.限于当时的技术水平,它还存在有不可忽略的阿贝误差,特别是在x与y方向的阿贝误差可达2～3 nm.所以,在其测量空间范围内,两点间的测量不确定度为:U=5 nm+2×10-4L(L为两点间的距离).本文报导1999年以来在原基础上所作的改进,消除了3个坐标方向上的阿贝误差,将测量不确定度提高到:U=2 nm+1×10-4L.

关键词：计量型原子力显微镜、阿贝误差、微型光纤传导平面激光干涉仪

所属期刊栏目：23

分类号：TB92(计量学)

资助基金：国家自然科学基金50051130905

在线出版日期：2004-02-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：87-89