相移干涉技术在小角度及直线度测量中的应用

摘要：

应用相移干涉及Zernike多项式波面拟合技术实现对空间小角度的高精度测量,测量精度可达到0.013″.与采用自准直仪、激光干涉小角度测量仪的测量方法相比较,测量精度有较大幅度的提高.与测长设备-光栅尺结合使用,可同时高精度测量导轨俯仰和偏摆两方向上的直线度.

关键词：相移干涉、Zernike多项式、直线度

所属期刊栏目：23

分类号：TB92(计量学)

在线出版日期：2004-02-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：6-9