高精度平面度测量方法的研究

摘要：

本文以中等尺寸000级平板为研究对象,采用双频激光测量系统的直线度测量部件进行平面度测量,分析计算了这一测量方法的测量不确定度,并进行了实际测试.理论分析和测试结果表明,这一方法的测量不确定度及其重复采样点偏差值的重合度可以满足中等尺寸000级平板的测量要求.

关键词：精度、平面度测量、测量方法不确定度

所属期刊栏目：21

分类号：TB92(计量学)

在线出版日期：2004-02-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：119-124