角度测量型原子间力显微镜

摘要：

本文作者采用光学式角度传感器,制作了探针驱动式角度测量型原子间力显微镜(AFM),它区别于历来的原子力显微镜信号的位移测量方法,克服了以往测量方法对被测物体的尺寸、重量及扫描速度等的限制.

关键词：角度测量型、位移测量型、原子间力显微镜

所属期刊栏目：20

分类号：TH7(仪器、仪表)

在线出版日期：2004-02-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：161-165