几种用于i-线光致抗蚀剂的光产酸剂性能研究

摘要：

2,1,4-重氮萘醌磺酸酯类化合物(2,1,4-DNQ),在光照下除了发生传统的重氮萘醌磺酸酯的光解,还可以产生磺酸导致聚合物发生酸解,因而可用作光产酸剂.本文制备了5种2,1,4-重氮萘醌磺酸酯,具有较好的热稳定性,分解温度均在130℃以上；其中有两种2,1,4-重氮萘醌磺酸酯(PAG-1和PAG-5)的溶解性良好,可溶于光致抗蚀剂体系所用的常用溶剂,且二者的光解效率较高,可用作i-线光致抗蚀剂的产酸剂使用.

关键词：i-线光致抗蚀剂、光产酸剂、2、1、4-DNQ

所属期刊栏目：30

分类号：O63(高分子化学（高聚物）)

在线出版日期：2013-11-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：34-38