基于微动刀架的超精密机床加工误差在位补偿技术

摘要：

针对超精密机床亚微米级几何误差检测和补偿需求,研制了一套超精密机床加工误差补偿系统.首先,提出了基于双测头误差分离法的以工件为基准的机床运动直线度在位检测方法,实现了测量基准自身误差与线性轴运动直线度误差的有效分离;随后,通过进行刀架系统动力学建模、柔性铰链力学建模、参数灵敏度分析以及优化,研制了一套基于压电陶瓷和柔性铰链导向的微动刀架,为误差补偿提供硬件基础;最后,在某超精密加工机床上利用分离所得机床线性轴直线度偏差和微动刀架实现了加工误差补偿能力的验证.试验结果表明:本文提出的补偿技术具备亚微米级补偿能力,可为超精密加工机床在位误差检测和补偿提供有益的探索.

关键词：超精密加工机床、超精密加工、误差补偿、误差检测、柔性铰链

所属期刊栏目：50

分类号：TG519.3(金属切削加工及机床)

资助基金：国防科工局技术基础科研项目;国防科工局科学挑战专题项目

在线出版日期：2020-12-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：2019-2027