集成式三相流脉动微混合芯片

摘要：

为适用于较复杂的混合体系和实现芯片的集成化,基于压电驱动技术提出一种集成式三相流脉动微混合芯片.以混合度作为微混合效果的评定指标,对其进行仿真优化分析,优选出微混合芯片的结构参数与工作参数.利用注模法与键合工艺制作出尺寸为100 mm×50mm×5 mm的微混合芯片.利用银纳米粒子的液相合成对该芯片的混合性能进行实验验证.结果 表明:当微混合芯片的混合流道宽度为0.4 mm、入口流道夹角为120°、频率为200 Hz、入口流量为3.5 mL/min时,利用该芯片可控合成了粒径约29 nm、产率较高、单分散性较好的银纳米粒子,证明该芯片具有良好的混合性能.

关键词：流体传动与控制、压电驱动、三相流、脉动微混合、银纳米粒子

所属期刊栏目：48

分类号：TN384(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金项目51375207;吉林省自然科学基金-学科布局项目20170101136JC

在线出版日期：2019-05-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：1063-1071