衬底偏压对VC纳米薄膜摩擦学性能的影响

摘要：

采用磁控溅射技术，通过改变衬底偏压在室温下制备系列 VC 薄膜，并考察衬底偏压对VC薄膜晶体结构、硬度及摩擦磨损性能的影响，建立相互间的内在联系。结果表明，随着衬底偏压的增高，薄膜的晶粒逐渐细化，薄膜硬度逐渐增大，耐磨损性能得到提高，摩擦系数变化较小。

关键词：衬底偏压、薄膜、力学性能

所属期刊栏目：54

分类号：TB383(工程材料学)

资助基金：吉林省科技厅项目基金2014-0101061JC

在线出版日期：2016-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：883-886