光学级透明金刚石膜的性质

摘要：

采用微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)方法在单晶硅片上制备光学级透明金刚石膜,利用傅里叶红外分光光度计和紫外-可见分光光度计分别测试不同厚度金刚石膜的红外光和紫外-可见光波段的透过率,并分析了测试结果.

关键词：光学级透明金刚石膜、红外光透过率、紫外-可见光波段透过率

所属期刊栏目：46

分类号：O484(固体物理学)

在线出版日期：2008-04-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：112-114